SICE東北支部研究集会の講演資料 2011年度

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両面アノーディックボンディングによるアレイ型マイクロセルの開発
○野崎孝弘,加賀谷祐輔,千葉寿,大坊真洋(岩手大学)

Development of array type micro cell using double-sided anodic bonding
*Takahiro Nozaki,Yusuke Kagaya,Hisashi Chiba,Masahiro Daibo(Iwate Univ)

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