SICE東北支部研究集会の講演資料 2011年度

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圧電素子型XYステージにおけるダンパの影響解析
○大坂達也,大川元寿(秋田大学),櫻田陽(秋田県産業技術センター),長縄明大,渋谷嗣(秋田大学),森英季(秋田県産業技術センター)

Influence Analysis of Damper in Piezoelectric Element-type XY stage
*Tatsuya Osaka,Motoharu Okawa(Akita Univ),Akira Sakurada(Akita Industrial Technology Center),Akihiro Naganawa,Yotsugi Sibuya(Akita Univ),Shigeki Mori (Akita Industrial Technology Center)

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