SICE東北支部研究集会の講演資料 2002年度

	204-10

SOIウェハを用いた真空封止構造多軸モーションセンサの試作
○渡部善幸, 峯田貴, 三井俊明, 丹野裕司（山形県工業技術センター）, 岡田和廣（株式会社ワコー）

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