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SICE東北支部研究集会の講演資料 2008年度 |
243-5
差圧式MEMS 流量センサの形成とHe 流量検出特性
○尾崎真寿, 酒井嶺太, 峯田貴, 牧野英司（弘前大学大学院 理工学研究科）
Fabrication and characterization of MEMS differential pressure sensor for He flow rate detection
*Masatoshi Ozaki, Ryouta Sakai, Takashi Mineta, Eiji Makino(Graduate School of Science and Technology, Hirosaki University)
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