SICE東北支部研究集会の講演資料 2008年度

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光フィルタ型変位計測によるMEMS加速度センサ
○ 溝延大和, 豊田宏, 小野俊郎（弘大院理工）

MEMS accelerometer using multi-layer optical filter with air gap resonator
*Hirokazu Mizonobe, Hiroshi Toyota, and Toshiro Ono(Hirosaki Univ.)

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