SICE東北支部研究集会の講演資料 2009年度

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MEMS 技術を用いたマイクロ流体冷却デバイスの作製〜流路内温度計の作製〜
○新垣 真太, 藤井 康生, 坂野 進（日本大学大学院）

Fabrication of Micro Fluidic Cooling Device Using MEMS Technology
*Shinta Shingaki, Yasuo Fujii, Susumu Sakano(Graduate School, Nihon University)

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