* SICE東北支部研究集会の講演資料
2013年度
資料番号
* 283-8 *
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ダンパを有する圧電素子型XYステージの制御系設計
〇大澤諒, 長縄明大(秋田大学), 櫻田陽(秋田県産業技術センター), 渋谷嗣(秋田大学), 森英季(秋田産業技術センター)

Control System Design for Piezoelectric Element-type XY stage with Damper
*Ryo Ohsawa, Akihiro Naganawa(Akita University), Akira Sakurada(Akita Industrial Technology Center), Yotsugi SibuyaAkita University), and Shigeki Mori(Akita Industrial Technology Center)

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