SICE東北支部研究集会の講演資料 2013年度

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ダンパを有する圧電素子型XYステージの制御系設計
〇大澤諒, 長縄明大（秋田大学）, 櫻田陽（秋田県産業技術センター）, 渋谷嗣（秋田大学）, 森英季（秋田産業技術センター）

Control System Design for Piezoelectric Element-type XY stage with Damper
*Ryo Ohsawa, Akihiro Naganawa(Akita University), Akira Sakurada(Akita Industrial Technology Center), Yotsugi SibuyaAkita University), and Shigeki Mori(Akita Industrial Technology Center)

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