SICE東北支部研究集会の講演資料 2015年度

	297-4

薄膜製造プロセスのための超音波噴霧システムの開発
○鈴木 勇人，關 成之，末永 貴俊(仙台高等専門学校)

Development of Ultrasonic Atomization System for Thin Film Deposition Process
*Hayato Suzuki, Shigeyuki Seki, Takatoshi Suenaga(National Institute of Technology, Sendai College)

PDF形式での資料提供

PDFファイル
表示には別途 AcrobatReader が必要です。

第297回研究集会　目次に戻る

ご意見・お問合せは

計測自動制御学会 東北支部 広報幹事 sice-tohoku＠topic.ad.jp